股份(688729)前道设备隐形冠军，平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备-公司研究 东吴证券 周尔双,陈海进,李文意 屹唐

◼ 平台化布局三大设备平台，国产替代与国际化双轮驱动：屹唐股份成立于2015 年，是一家专注于集成电路前道核心装备的高端制造企业。公司致力于干法去胶（Dry Strip）、干法刻蚀和等离子体表面处理（Dry Etch and Plasma Surface Treatment）及快速热处理（RTP）等关键设备的研发与制造，产品广泛应用于先进晶圆制造工艺，客户涵盖中芯国际、台积电、三星、英特尔等全球领先的集成电路制造企业。在“半导体设备国产替代”趋势下，公司凭借技术积累与平台化布局，已成长为全球前道设备领域具有代表性的中国企业。