光刻机行业深度：核心技术、竞争格局、国产替代及相关公司深度梳理

2025 年7 月14 日行业|深度|研究报告行业研究报告慧博智能投研光刻机行业深度：核心技术、竞争格局、国产替代及相关公司深度梳理光刻机是芯片制程核心设备。光刻工艺是对光刻胶进行曝光和显影形成三维光刻胶图形的过程，直接决定了集成电路制造的微细化水平。全球晶圆厂设备开支保持强劲，光刻机需求持续提升。目前ASML、Nikon 和Canon 长期占据主要市场，ASML 龙头地位稳固，光刻机国产化需求迫切。我国光刻技术与全球先进水平存在较大差距，大基金三期将重点扶持本土企业和关键技术瓶颈领域的项目，国内光刻机相关公司有望受益。围绕光刻机行业，下面我们从光刻机相关原理、核心技术与部件、发展现状、驱动因素、国产替代相关情况及相关公司等方面进行深度梳理，希望帮助大家更多了解光刻机。