核心装备技术领先，研发与团队夯实成长根基

本报告为中微公司（688012.SH）公司深度报告，维持"买入"评级。公司是国内半导体高端装备龙头，核心产品覆盖等离子体刻蚀、MOCVD及薄膜沉积设备：截至2025H1，CCP刻蚀设备累计装机超4500个反应台，ICP接近1200个反应台；MOCVD在氮化镓基领域全球领先，薄膜沉积已推出6款产品并实现60:1深宽比填充突破。研发与团队方面，2024年研发人员1190人、占比47.98%，2025H1研发投入14.92亿元、占营收30.07%，并通过大规模股权激励绑定核心人才。2025H1营收49.61亿元、归母净利润7.06亿元，LPCVD收入同比增608.19%。全球半导体设备市场2024年达1090亿美元，国产替代空间广阔。预计2025-2027年归母净利润23.25/31.44/42.21亿元，对应PE 82.44/60.96/45.40倍，低于可比公司2025年平均102.36倍。