涂胶显影+清洗设备一体两翼发展，北方华创战略收购，大湿法平台化提速

本报告为芯源微（688037.SH）公司深度研究。公司脱胎于中科院沈阳自动化所，是国内领先的大湿法设备龙头，产品覆盖前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备及化合物等小尺寸设备，是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，产品已覆盖28nm及以上工艺节点并持续向更高制程演进。前道物理清洗机为国内主力量产机型，战略新产品前道化学清洗机工艺覆盖率达80%以上，成功打破国外垄断并获多家大客户订单；Frame清洗、临时键合与解键合等新产品逐步放量。行业层面，2024年全球半导体设备销售额1171亿美元、同比增长10%，SEMI预计2025年有望达1255亿美元；国内涂胶显影设备国产化率仅14.24%，清洗设备国产化率约35%，国产替代空间广阔。北方华创已受让17.87%股份成为公司第一大股东并取得控制权，双方产品互补，有望在研发、供应链与客户资源上形成协同。