日本科技:半导体资本设备:美光科技技术网络研讨会解读——利好TEL/Disco/Ebara/Kokusai
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摘要
Abstract高盛日本科技团队点评美光于10月21日(日本时间)晚间举行的技术与产品网络研讨会。DRAM方面,美光1-gamma节点已采用EUV实现量产,未来将通过混合键合与High-NA EUV继续微缩,同时并行开发3D-DRAM,并因工艺复杂度与成本放弃4F2路线、过渡期沿用6F2;HBM方面,除标准架构外正推进定制HBM、垂直HBM与VEIM开发,均依赖混合键合、温控等先进封装技术;NAND方面,将从已量产的G9(276层)升级至400层以上的G11,采用混合键合实现晶圆互连,目标2027年下半年量产,并开发SLC方案及采用TSV与逻辑基die的架构。我们认为,混合键合应用范围扩大与NAND层数提升利好东京电子(买入)、Disco(买入)、Ebara(买入)与Kokusai Electric(中性),分别带动键合机、高洁净规格切割与研磨设备、CMP设备以及批量ALD工序增加与设备换代需求;
核心观点
Key Takeaways- 01高盛日本科技团队点评美光于10月21日(日本时间)晚间举行的技术与产品网络研讨会。
- 02DRAM方面,美光1-gamma节点已采用EUV实现量产,未来将通过混合键合与High-NA EUV继续微缩,同时并行开发3D-DRAM,并因工艺复杂度与成本放弃4F2路线、过渡期沿用6F2;HBM方面,除标准架构外正推进定制HBM、垂直HBM与VEIM开发,均依赖混合键合、温控等先进封装技术;NAND方面,将从已量产的G9(276层)升级至400层以上的G11,采用混合键合实现晶圆互连,目标2027年下半年量产,并开发SLC方案及采用TSV与逻辑基die的架构。
- 03我们认为,混合键合应用范围扩大与NAND层数提升利好东京电子(买入)、Disco(买入)、Ebara(买入)与Kokusai Electric(中性),分别带动键合机、高洁净规格切割与研磨设备、CMP设备以及批量ALD工序增加与设备换代需求;。
报告信息
Report Data- 券商
- 高盛
- 分类
- 行业研究 / TMT / 电子设备
- 页数 / 大小
- 9 页 · 0.5 MB
- 发布日期
- 2026-10-23