中科飞测（688361）：循光而进，国产量检测拾级而上

国盛证券首次覆盖中科飞测（688361.SH）。公司为半导体量检测国产龙头，围绕光学检测、大数据检测算法及自动化控制软件，已形成十三大系列设备及三大系列软件产品组合，覆盖光学、电子束及X光技术路线。2021-2025年营收CAGR达54%，2025年营收20.5亿元、同增49%，综合毛利率50%，26H1营收9.4亿元、同增34%。AI扩产与制程微缩、存储堆叠及先进封装复杂化共同驱动量检测需求，2025年全球及中国大陆市场规模约191/44.5亿美元，大陆市场KLA、应用材料及日立高新合计份额约79%，国产替代空间广阔。公司明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已在成熟制程批量销售，暗场设备成为订单贡献最大产品，2022-2025年量测及检测设备均价累计提升104%/31%，并有望对标KLA平台化路径实现盈利释放。