氮化铝陶瓷加热器和静电卡盘：半导体沉积和刻蚀环节核心组件业务值得期待——珂玛科技首次覆盖报告

本报告为珂玛科技（301611.SZ）首次覆盖报告，给予“买入”评级，中性/上行目标价分别为76元/89元。公司是国内先进陶瓷材料供应商，产品聚焦半导体制程中与晶圆接触的核心功能模块，包括氮化铝陶瓷加热器、静电卡盘及超高纯碳化硅组件，应用于薄膜沉积与刻蚀设备。核心逻辑：AI驱动下国内DRAM、3D NAND及28nm以上逻辑芯片扩产与技术升级（4F²、GAA、3D NAND堆叠），推动PECVD/ALD等薄膜沉积设备需求高增，陶瓷加热器对金属加热器的替代加速；该类功能模组占设备成本约14%，国产化率仅14%左右，替代空间广阔，公司国内市占率领先；苏州新厂产能爬坡，氮化铝陶瓷加热器月产能由2024年60支提升至2025年底200支、2026年300支。预计2025-2027年归母净利4.28/6.32/8.07亿元，对应PE约60/41/32倍。风险为下游晶圆产能释放及新产品导入不及预期。